发明名称 WASHING CHEMICALS
摘要
申请公布号 JPH0831781(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940185448 申请日期 1994.07.13
申请人 SONY CORP 发明人 KOKUBU KATSUNORI
分类号 H01L21/308;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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