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发明名称 RESIST COATER
摘要
申请公布号 JPH0831715(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940159720 申请日期 1994.07.12
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKAGUCHI HIROSHI
分类号 G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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