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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0897416(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940231045 申请日期 1994.09.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MATSUO RYUICHI;ANAMI KENJI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/02;H01L27/08;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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