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发明名称 Kombinierter optischer und kapazitiver Apparat zur Messung der absoluten Position.
摘要
申请公布号 DE69205459(T2) 申请公布日期 1996.06.13
申请号 DE19926005459T 申请日期 1992.02.26
申请人 MITUTOYO CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ANDERMO, NILS INGVAR, STATE OF WASHINGTON, US;HANLEY, TRACY E., KIRKLAND, WASHINGTON 98034, US;LANE, PHILIP S., STATE OF WASHINGTON, US
分类号 G01B21/00;G01B7/00;G01B11/00;G01D5/24;G01D5/241;G01D5/244;G01D5/245;G01D5/36;G01D5/56;H03M1/14;H03M1/30;(IPC1-7):G01B11/00;G01B7/02;G01B11/02;G01D5/38 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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