发明名称 具有氧氮化物表层之未烧结氮化铝粉末
摘要 一种具有化学稳定性氧氮化物表层之未烧结氮化铝粉末,该氧氮化物表层具有10至100CC之厚度,该含氧氮化铝之表层之氧含量以A12 O3/(A12 O3 + A1N)表示,是介于5-75莫耳%之间,该氧含量为有效抑制固溶体中之氧含量,另该表面层防止微裂缝之形成,且抑制氧穿透入该氮化铝粉末之晶粒内部。一种具有化学稳定性氧氮化物表层之未烧结氮化铝,该氧氮化物表层具有10至100CC之厚度,该含氧氮化铝粒子之表层中含有氧氮化铝 Ca,Ba,Ti,V,Cr,Co,Ni,Cu,Ga,Ge,Zr,Nb Mo,Ru,Hf,Ta,W,Li,B,Si,Y,Sc,及稀土元素,该氧氮化铝以及至少一种的其他氧氮化物中氧含量之总量以(3×氧含量)/(3×氧含量+氮含量)表示是介于10-75莫耳%之间,该氧含量为有效减少固溶体中之氧含量,另该表面层有效防止微裂缝之形成,且抑制氧渗入该氧化铝粉末之晶粒内部。氮化铝粉末可以轻易转变成具备极佳烧结性及优异特性之烧结体,因为上述表层减低从表层穿透到晶粒内部的氧气之旺,并且防止微细裂缝之形成。
申请公布号 TW280836 申请公布日期 1996.07.11
申请号 TW082107261 申请日期 1993.09.06
申请人 住友电气工业股份有限公司 发明人 山川晃;中;松浦贵宏;曾我部浩一
分类号 C22C29/16 主分类号 C22C29/16
代理机构 代理人 何金涂 台北巿大安区敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1. 一种具有化学稳定性氧氮化物表层之未烧结氮化铝粉末,该氧氮化物表层具有10至100@fc(1.frch)8之厚度,该含氧氮化铝之表层之氧含量以Al@ss2 O@ss3/(Al@ss2 O@ss3+AlN)表示,是介于5-75莫耳%之间,该氧含量为有效抑制固溶体中之氧含量,另该表面层防止微裂缝之形成,且抑制氧穿透入该氮化铝粉末之晶粒内部。2. 如申请专利范围第1项之未烧结氮化铝粉末,其中氧从该表层扩散到氮化铝粉末晶粒内部之扩散系数D(cm@su2/s)是在8.010@su-@su9exp(-69100/R.T)或以下。3. 如申请专利范围第2项之未烧结氮化铝粉末,其中在氮化铝粉末晶粒内部固溶体中之氧含量是在0.2重量%或以下。4. 如申请专利范围第1项之未烧结氮化铝粉末,其中在氮化铝粉末晶粒内部固溶体中之氧含量是在0.2重量%或以下。5. 一种具有化学稳定性氧氮化物表层之未烧结氮化铝粉末,该氧氮化物表层具有10至100@fc(1.frch)8之厚度,该含氧氮化铝之表层中含有氧氮化铝以及至少一从下述群中选出之元素的氧氮化物:Mg,Ca,Ba,Ti,V,Cr,Co,Ni,Cu,Ga,Ge,Zr,Nb,Mo,Ru,Hf,Ta,W,Li,B,Si,Y,Sc,及稀土元素,该氧氮化铝以及至少一种的其他氧氮化物中氧含量之总量以(3氧含量)/(3氧含量+氮含量)表示是介于10-75莫耳%之间,该氧含量为有效减少固溶体中之氧含量,另该表面层有效防止微裂缝之形成,且抑制氧渗入该氧化铝粉末之晶粒内部。6. 如申请专利范围第5项之未烧结氮化铝粉末,其中氧从该表层扩散到氮化铝粉末晶粒内部之扩散系数D(cm@su2/s)是在8.010@su-@su9exp(-69100/R.T)或以下。7. 如申请专利范围第6项之未烧结氮化铝粉末,其中在氮化铝粉末晶粒内部固溶体中之氧含量是在0.2重量%或以下。8. 如申请专利范围第5项之未烧结氮化铝粉末,其中在氮化铝粉末晶粒内部固溶体中之氧含量是在0.2重量%或以下。图示简单说明:图1是在纵深方向以二次离子质谱仪(SIMS)测得之氧浓度分布图,图中包括具有氧化物表层之传统氮化铝粉末及本发明具有氧氮化物表层之氮化铝粉末,两种粉末都在1800℃的纯氮气气氛中加热1小时。图2为显示氧含量的增量与静置时间之关系图,图中包括实施例4之在其表面具有氧氮化物表层之氮化铝粉末及在其表面具有氧化物表层之传统氮化铝粉末,两者都是在50
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