Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung eines Substrates unter Verwendung der Vakuum-Bogen-Verdampfung.,申请号DE19926006028T-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung eines Substrates unter Verwendung der Vakuum-Bogen-Verdampfung.
摘要
申请公布号	DE69206028(T2)	申请公布日期	1996.07.18
申请号	DE19926006028T	申请日期	1992.03.13
申请人	VAPOR TECHNOLOGIES INC., BOULDER, COL., US	发明人	WELTY, RICHARD P., BOULDER, COLORADO 80303, US
分类号	C23C14/24;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/24;H01J37/32	主分类号	C23C14/24
代理机构		代理人
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