发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08203930(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950013911 申请日期 1995.01.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHII KATSUNORI
分类号 H01L21/265;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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