发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08222652(A) 申请公布日期 1996.08.30
申请号 JP19950028351 申请日期 1995.02.16
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 KIKUCHI HIROSHI;HAYASHIDA TETSUYA;SATO TOSHIHIKO;GOTO MASAKATSU
分类号 H01L21/60;H01L23/02;H01L23/15;(IPC1-7):H01L23/02 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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