| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08222574(A) |
申请公布日期 |
1996.08.30 |
| 申请号 |
JP19950026608 |
申请日期 |
1995.02.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI GAS CHEM CO INC;MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
AOYAMA TETSUO;HASEMI TAKASHI;SUGANO ITARU |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/304;H01L21/3213;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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