发明名称 METHOD OF FORMING DEPOSITION FILM BY HIGH-FREQUENCY PLASMA CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPH08222519(A) 申请公布日期 1996.08.30
申请号 JP19940270192 申请日期 1994.10.11
申请人 CANON INC 发明人 TAKAI YASUYOSHI
分类号 G03G5/08;C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 G03G5/08
代理机构 代理人
主权项
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