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发明名称
摘要
申请公布号 JP2516877(Y2) 申请公布日期 1996.11.13
申请号 JP19900107192U 申请日期 1990.10.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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