| 发明名称 |
COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL GROWTH METHOD AND COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08306624(A) |
申请公布日期 |
1996.11.22 |
| 申请号 |
JP19950105353 |
申请日期 |
1995.04.28 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TAKEMI MASAYOSHI;KIMURA TATSUYA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01S5/00;H01S5/30;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306;H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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