发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08316229(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950121686 申请日期 1995.05.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KURITA KAZUYUKI
分类号 H01L21/768;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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