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发明名称 MACHINING DEVICE USING RADICAL REACTION AND ITS MACHINING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08316208(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950121581 申请日期 1995.05.19
申请人 MORI YUZO;NIKON CORP 发明人 TANAKA HIROAKI
分类号 G03F7/20;C03C15/00;C04B41/80;C23F4/00;G02B27/09;H01L21/302;H01L21/3065;H05K3/08;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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