| 发明名称 |
AFM CANTILEVER AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09105755(A) |
申请公布日期 |
1997.04.22 |
| 申请号 |
JP19950288136 |
申请日期 |
1995.10.11 |
| 申请人 |
OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
HASEGAWA MAMORU;TAKAYAMA MICHIO |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/38;H01J37/28;H01L21/306;H01L29/84;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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