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发明名称 Belichtungsgerät
摘要
申请公布号 DE69030493(D1) 申请公布日期 1997.05.22
申请号 DE19906030493 申请日期 1990.11.20
申请人 USHIO DENKI, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SUZUKI, SHIGERU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA, JP;TANAKA, KAZUYA, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA, JP;GOTOH, MANABU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA, JP
分类号 G03F7/20;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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