| 主权项 |
1.一种切割用线状锯之浆液管理系统,是将磨料分散在油系或水系的分散液中形成浆液,一边供应互相平行设置之金属线群[41],并利用前述金属线群[41]切割工件[46]同时形成多数之晶片,其特征为包含:可调合供应前述线状锯[W]浆液之一调合装置[2];供应前述调合装置[2]磨料之一磨料供应装置[21];供应分散液至前述调合装置[2]之一分散液供应装置[22];调节前述磨料供应装置[21]的磨料供应量之一第1调节装置[V21];调节前述分散液供应装置[22]的分散液供应量之一第2调节装置[V22]。2.如申请专利范围第1项所述之浆液管理系统,其中更包含可分别控制前述第1调节装置[V21]及前述第2调节装置[V22]之一控制装置[C1],在分散液为油系时,使利用前述调合装置[2]所调合浆液中的磨料与分散液的混合重量比可从1:0.91调节为1:0.6的范围内,当分散液为水系时,使利用前述调合装置[2]所调合浆液中的磨料与分散液的混合重量比可自1:0.76调节于1:0.5之范围内。3.如申请专利范围第2项所述之浆液管理系统,其中供应前述金属线群[41]之浆液中的磨料具有5-30m之平均粒径。4.如申请专利范围第1项所述之浆液管理系统,其中包含复数台前述线状锯[W],前述调合装置[2]所调合浆液可供应至各线状锯[W]者。5.如申请专利范围第2项所述之浆液管理系统,其中包含:检测浆液中磨料含量之一含量检测装置[S1.S2];前述控制装置[C1]可根据前述含量检测装置[S1.S2]之检测结果,分别控制前述第1调节装置[V21]及前述第2调节装置[V22]。6.如申请专利范围第5项所述之浆液管理系统,其中前述含量检测装置[S1.S2]可在调合装置[2]内检测浆液中之磨料含量者。7.如申请专利范围第6项所述之浆液管理系统,其中前述含量检测装置至少包含检测浆液比重之一比重检测装置[S1]、及检测浆液黏度之黏度检测装置[S2]其中之一者。8.如申请专利范围第1-7项任一项所述之浆液管理系统,其中包含:前述线状锯[W]可排出使用于切割之浆液,其排出之浆液较磨料更微小之微粒成份;将微粒成份从同一浆液分离、可藉以回收前述线状锯[W]所排出浆液中之分散液及磨料的一分离装置[6.7;8.6;9a、9b、9c、9d;100.107];及,前述调合装置[2]可再使用前述分离装置[6.7;8.6;9a、9b、9c、9d;100.107]所回收之分散液及磨料者而调合浆液。9.如申请专利范围第8项所述之浆液管理系统,其中在浆液调合时再使用之磨料具有5-30m的平均粒径。10.如申请专利范围第8项所述之浆液管理系统,其中包含可将前述分离装置[6.7;8.6;9a、9b、9c、9d;100.107]所回收之分散液及磨料运送至前述调合装置[2]之一运送装置[T6.T7]。11.如申请专利范围第8项所述之浆液管理系统,其中前述分离装置包含一第1分离装置[6;8;9a、9b;100]及一第2分离装置[7;6;9c、9d;107]第1分离装置[6;8;9a、9b;100]可从同一浆液分离微粒成份及分散液,藉此回收从线状锯[W]排出浆液中的磨料;第2分离装置[7;6;9c、9d;107]是从同一浆液中分离微粒成份而回收包含前述第1分离装置所分离微粒成份与分散液浆液中之分散液。12.如申请专利范围第8项所述之浆液管理系统,其中前述分离装置包含藉着对浆液的离心力作用使浆液中的成份分离之一离心分离装置[6],该离心分离装置[6]是以150-500G的离心加速度进行浆液中成份之离心分离。13.如申请专利范围第8项所述之浆液管理系统,其中前述分离装置包含一过滤器[7;9a、9b、9c、9d;100.107]。14.如申请专利范围第8项所述之浆液管理系统,其中前述分离装置包含将浆液载置于旋流中,可分离浆液中成份之一旋风式分离机[8]。15.如申请专利范围第1-7项任一项所述之浆液管理系统,其中包含:前述线状锯[W]可排出切割后所使用之浆液,其排出浆液较磨料更微小的微粒成份;为回收前述线状锯[W]排出浆液中的磨料,可使微粒成份从同一浆液分离之一第1分离装置[100],及该第1分离装置[100]具有容许分离液及微粒成份通过并阻止磨料通过之一过滤器[102]。16.如申请专利范围第15项所述之浆液管理系统,其中前述第1分离装置并包含可赋予前述过滤器[102]微振动之一振动赋予装置[106],赋予过滤器[102]之微振动系可抑制磨料附着在过滤器[102]上,而从过滤器[102]将接触过滤器[102]之磨料排除。17.如申请专利范围第16项所述之浆液管理系统,其中前述第1分离装置并包含:具有藉前述过滤器[102]隔开之一第1室[103]与一第2室[104]之一本体[101];将前述线状锯[W]排出之浆液导入第1室[103],而导入至第1室[103]浆液中的分散液及微粒成份是经由过滤器[102]导入第2室[104]内,而导入第1室[103]浆液中的磨料是利用过滤器[102]阻止其导入第2室[104]内而残留于第1室[103]内。18.如申请专利范围第16项所述之浆液管理系统,其中前述振动赋予装置包含可产生超音波而使过滤器[102]微振动之一超音波振荡器[106]。19.如申请专利范围第17项所述之浆液管理系统,其中前述振动赋予装置包含产生超音波使过滤器[102]微振动之一超音波振荡器[1 |
