| 发明名称 |
Verfahren zur Montage bzw. Demontage einer Targetplatte in einem Vakuumprozessraum, Montageanordnung hierfür sowie Targetplatte bzw. Vakuumkammer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59208623(D1) |
申请公布日期 |
1997.07.24 |
| 申请号 |
DE19925008623 |
申请日期 |
1992.05.04 |
| 申请人 |
BALZERS AG, BALZERS, LI |
发明人 |
KERSCHBAUMER, JOERG, A-6800 FELDKIRCH-TOSTERS, AT |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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