发明名称 Zell-Bibliotheks-Verfahren zur Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen
摘要
申请公布号 DE69125203(T2) 申请公布日期 1997.08.07
申请号 DE19916025203T 申请日期 1991.05.21
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SETA, KATSUHIRO, NERIMA-KU, TOKYO, JP;HARA, HIROYUKI
分类号 H01L21/82;H01L27/118;(IPC1-7):H01L27/118 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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