发明名称 OPTICAL SENSOR WITH INTERFERENCE SIGNAL COMPENSATION
摘要 Eine optische Sensorvorrichtung weist zumindest ein optisches Sensorelement (20) bestehend aus einem MOS-Transistor, das abhängig von einem auf dasselbe einfallenden optischen Nutzsignal (28) ein erstes elektrisches Signal (IS) erzeugt, das aus einem elektrischen Nutzsignal und einem Störsignal besteht, wobei das Störsignal den Dunkelstrom des ersten MOS-Transistors enthält, auf. Ferner ist zumindest ein Referenzsensorelement (22) bestehend aus einem zu dem ersten MOS-Transistor identischen zweiten MOS-Transistor, das nicht dem optischen Nutzsignal ausgesetzt ist und ein zweites elektrisches Signal (IDunkel) erzeugt, das dem Störsignal, das den Dunkelstrom des MOS-Transistors enthält, entspricht oder von diesem abgeleitet ist, vorgesehen. Die Sensorvorrichtung enthält ferner eine Einrichtung (24, 30) zum Kombinieren des ersten und des zweiten elektrischen Signals (IS, IDunkel) derart, dass in dem resultierenden elektrischen Signal (ISK) zumindest der dem Dunkelstrom des ersten MOS-Transistors entsprechende Anteil des Störsignals im wesentlichen beseitigt ist.
申请公布号 WO9737199(A1) 申请公布日期 1997.10.09
申请号 WO1997EP01354 申请日期 1997.03.18
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWAND;SCHANZ, MICHAEL;BROCKHERDE, WERNER 发明人 SCHANZ, MICHAEL;BROCKHERDE, WERNER
分类号 G01D3/036;G01D5/26;G01J1/16;G01J5/34;(IPC1-7):G01J1/16;G01J1/42;H01L27/146 主分类号 G01D3/036
代理机构 代理人
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