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发明名称 Sensorelement zum Nachweis von flüssigen, gasförmigen oder fluiden Substanzen und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE19621227(A1) 申请公布日期 1997.11.27
申请号 DE19961021227 申请日期 1996.05.25
申请人 DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH, 79108 FREIBURG, DE 发明人 IGEL, GUENTER, DIPL.-ING., 79312 EMMENDINGEN, DE
分类号 G01N27/00;G01N27/12;G01N27/22;(IPC1-7):G01N27/30;H01L21/786 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
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