发明名称 Tangentialströmungs-Pumpkanal für Turbomolekularpumpen
摘要
申请公布号 DE69407275(D1) 申请公布日期 1998.01.22
申请号 DE19946007275 申请日期 1994.09.12
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 HELMER, JOHN C., US-MENLO PARK, CA. 94028, US;LEVI, GIAMPAOLO, I-10143 TURIN, IT
分类号 F04D19/04;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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