DIAMOND-LIKE COATING

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen einer verschleissfesten, diamantähnlichen Beschichtung auf einem Substrat (1) sowie ein mit einer solchen Beschichtung versehenes Verschleissteil etwa einer Textilmaschine, welches trotz schnellem und wirtschaftlichem Schichtaufbau eine gute Haftung der diamantähnlichen Beschichtung auf dem Substrat erzeugt und dabei eine gleichmässige Qualität über den auf Verschleiss beanspruchten Bereich, sowie ein mit einer solchen Beschichtung ausgestattetes Verschleissteil bietet. Ein erfindungsgemässes Verfahren mittels plasmagestützter chemischer Abscheidung der Schicht aus einer Gasatmosphäre in einem Reaktionsraum (5) mit elektromagnetischer Strahlungsanregung der Abbscheidungsatmosphäre und einer zwischen dem Substrat (1) und wenigstens einer Masseelektrode (6, 51) erzeugten elektrischen Biasspannung, kennzeichnet sich dadurch, dass die Substrate (1) so angeordnet sind, dass ein möglichst grosser Anteil der zwischen Substrat und Masseelektrode verlaufenden Feldlinien (4) die durch die Anordnung der Substrate definierte Aufspannfläche (3) senkrecht schneidet bzw. an dem der Aufspannfläche (3) nächstliegenden Ende die Feldlinien (4) senkrecht gegen die Aufspannfläche gerichtet sind.