发明名称 Mikromechanischer Druck- und Kraftsensor
摘要
申请公布号 DE19617696(C2) 申请公布日期 1998.04.09
申请号 DE19961017696 申请日期 1996.05.03
申请人 BILGER, THOMAS, 79426 BUGGINGEN, DE 发明人 BILGER, THOMAS, 79426 BUGGINGEN, DE
分类号 G01L1/14;G01L9/00;(IPC1-7):H01L49/00;G01L1/12;G01L9/12 主分类号 G01L1/14
代理机构 代理人
主权项
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