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发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER TRANSFERRING METHOD AND APPARATUS AND BOAT FOR THERMAL TREATMENT OF A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
KR0134030(B1)
申请公布日期
1998.04.20
申请号
KR19890014551
申请日期
1989.11.05
申请人
TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD
发明人
NISHI, HIRONOBU;YAMAGA, KENICHI;ASANO, TAKANOBU;SAWADO, KAZUTOSI;ITO, SHOZO;MOCHIZUKI, YOSHINORI
分类号
H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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