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发明名称 METAL OXIDE SEMICONDUCTOR DEVICE WITH SELF ALIGNED GROVE STRUCTURE AND ITS FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 KR0135029(B1) 申请公布日期 1998.04.20
申请号 KR19940027479 申请日期 1994.10.26
申请人 KOREA ELECTRONICS AND TELECOMMNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 KANG, WON-KOO;YU, JONG-SUN;KIM, YEU-HWAN;KANG, SUNG-WON
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L27/08;H01L29/10;H01L29/423;(IPC1-7):H01L27/08 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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