| 主权项 |
1.一种同步加速器射束的控制装置,特别是X射线凹版印刷用的照射装置,其包含有一个在一真空室内用来容纳待照射物体的工件台,该工件台可藉由相对于同步加速器射束的扫描运动而移动,另外包含有一个在该真空室内作为照射用入口的窗口以及一对可朝彼此移动的挡板,其特征在于:除了一个呈序列地被连接于真空室之前的滤光片室之外,该可朝彼此移动的挡板系被设置在该工件台与该窗口之间,以及,该对挡板中之一个,其可在与扫描运动方向相一致的方向上朝彼此移动,系以一种使得在该工件台之折返点处之过度照射现象被排除的方式而被耦合至该扫描运动。2.如申请专利范围第1项所述的装置,其中,为了将滤光片插入同步加速器射束(2),设置了滤光片更换器(27),它安装在可放置在滤光片室上面的真空室凸缘(11)上,经固定螺栓(12)与一个气动缸(13)固定在一起,气动缸的运动通过一个安装在导向套(17)和一个膜盒(18)传递给一个推杆(21),滤光片支架(23)固定在该推杆上。3.如申请专利范围第2项所述的装置,其中,滤光片支架(23)由两个框形构件(24.25)组成,该构件具有和同步加速器射束(20)的横截面形状相吻合的长孔(26)。4.如申请专利范围第1项所述的装置,其中,有一对可做相对运动的挡板(28.29)构成第一个射线限定组件(9)的部件,以在水平方向上限定同步加速器射束(2)。5.如申请专利范围第4项所述的装置,其中,在射线限定组件(9)内对每个可朝彼此移动的挡板(28.29),在安装板(30)上经固定元件(31)装有一个固定的导轨(32)和一个销轴(33),在销轴上有一个不可转动的销轴螺母(34),其上面是挡板(28.29),为了挡板(28.29)的定位在安装板(30)上固定着传感器(37)。6.如申请专利范围第1项所述的装置,其中,还有一对可做相对运动的挡板(38.39)构成第二个射线限定组件(10)的部件,以在垂直方向上限定同步加速器射束(2),挡板(38.39)的移动通过驱动构件实现,驱动构件实质上对应于挡板(28.29)所用者,并且被固定在工件台(6)之可移动部分上。图式简单说明:图1表示一个X射线凹版印刷照射装置,图2表示一个滤光片室的滤光片更换器,图3表示一个使用于照射装置的滤光片室,图4表示一个水平作用的射线限定组件,图中为面对于射线方向,图5表示图4所示射线限定组件的俯视图,图6表示一个垂直作用的射线限定组件,图中为射线方向。 |
