发明名称 METHOD FOR DISPLAYING SEMICONDUCTOR DEVICE CROSS SECTION STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH10269257(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970069394 申请日期 1997.03.24
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TAZAWA SATOSHI;OCHIAI KATSUYUKI
分类号 H01L21/306;G06F17/50;G06T1/00;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址