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发明名称 GAS SUPPLIER OF ION INJECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0125855(Y1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19940029276U 申请日期 1994.11.04
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 PARK, SUK-MAN
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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