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发明名称 Interferometrische Meßvorrichtung
摘要
申请公布号 DE19721842(A1) 申请公布日期 1998.12.03
申请号 DE19971021842 申请日期 1997.05.26
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE 发明人 DRABAREK, PAWEL, DR., 75233 TIEFENBRONN, DE;KUEHNLE, GOETZ, DR., 71282 HEMMINGEN, DE
分类号 G01B11/30;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/24 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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