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发明名称
SUBSTRATE-POLISHING APPARATUS AND POLISHING FINAL POINT DETECTION METHOD
摘要
申请公布号
JPH10335288(A)
申请公布日期
1998.12.18
申请号
JP19970147399
申请日期
1997.06.05
申请人
SONY CORP
发明人
SATO SHUZO;OTORII SUGURU
分类号
G01B11/06;B24B49/12;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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