发明名称 VERFAHREN UND APPARAT ZUM BELASTEN, EINBRENNEN UND REDUZIEREN DES LECKSTROMES ELEKTRONISCHER ANORDNUNGEN UNTER GEBRAUCH VON MIKROWELLENSTRAHLUNG
摘要
申请公布号 AT176333(T) 申请公布日期 1999.02.15
申请号 AT19930116795T 申请日期 1993.10.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 FREIERMUTH, PETER EDWARD;GINN, KATHLEEN SCOTT;HALEY, JEFFREY ALAN;LAMAIRE, SUSAN JARVIS;LEWIS, DAVID ANDREW;MILLS, GAVIN TERENCE;REDMOND, TIMOTHY ALVIDA;TSANG, YUK LUN;VAN HORN, JOSEPH JOHN;VIEHBECK, ALFRED;WALKER, GEORGE FREDERICK;YANG, JER-MING;LONG, CLARENCE SANFORD
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/311;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/326;H01L21/329;(IPC1-7):G01R31/28;H01L21/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址