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发明名称
FORMATION OF WIRING LAYER
摘要
申请公布号
JPH11111844(A)
申请公布日期
1999.04.23
申请号
JP19970270229
申请日期
1997.10.02
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
KATO KAZUTOSHI;MURAMOTO YOSHIFUMI
分类号
H01L21/768;H01L31/10;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
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