发明名称 FORMATION OF WIRING LAYER
摘要
申请公布号 JPH11111844(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970270229 申请日期 1997.10.02
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KATO KAZUTOSHI;MURAMOTO YOSHIFUMI
分类号 H01L21/768;H01L31/10;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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