发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号 JPH11111584(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970269082 申请日期 1997.10.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MANABE YASUO;HOSHINO HIROMI
分类号 H01J37/302;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01J37/302
代理机构 代理人
主权项
地址