| 发明名称 |
Universal multicontact connection between an EWS probe card and a test card of a test-on-wafer station |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0462944(B1) |
申请公布日期 |
1999.05.26 |
| 申请号 |
EP19910830260 |
申请日期 |
1991.06.12 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
LIBRETTI, GIUSEPPE |
| 分类号 |
G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;H01R11/18;H01R31/06;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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