| 主权项 |
1.一种表面检查方法,其特征为:使在量测对象物反射之光通过物侧远心光学系或像物侧远心光学系观测,以检查该量测对象物之表面之际,将上述物侧远心光学系或上述像物侧远心光学系对于上述量测对象物之法线方向光轴倾斜地配置,以观测在上述量测对象物反射之光。2.如申请专利范围第1项记载之表面检查方法,其中使由上述物侧远心光学系或上述像物侧远心光学系来之光于摄影部成像之外,使上述摄影部于近轴领域与像平面一致地倾斜。3.如申请专利范围第1项或第2项记载之表面检查方法,其中由与上述物侧远心光学系或上述像物侧远心光学系之光轴之延伸存在方向不同之方向,将光照射上述量测对象物。4.一种表面检查方法,其特征为:使在量测对象物反射之光通过物侧远心光学系观测,以检查该量测对象物之表面状态之际,将上述物侧远心光学系对于上述量测对象物之法线光轴倾斜地配置,经由上述物侧远心光学系以形成对应上述量测对象物之被检查面之空中像,使之观测此空中像。5.一种表面检查方法,其特征为:使在量测对象物反射之光通过物侧远心光学系观测,以检查该量测对象物之表面状态之际,将上述物侧远心光学系对于上述量测对象物之法线光轴倾斜地配置,经由上述物侧远心光学系以形成对应上述量测对象物之被检查面之光像于毛玻璃上,使之观测此光像。6.如申请专利范围第1项记载之表面检查方法,其中在检查该量测对象物之表面时,使上述量测对象物对于此量测对象物之被检查面平行地旋转。7.一种使在量测对象物反射之光通过物侧远心光学系或像物侧远心光学系观测,以检查该量测对象物之表面状态之表面检查装置,其特征为:上述物侧远心光学系或像物侧远心光学系对于上述量测对象物之法线光轴倾斜规定之角度。8.如申请专利范围第7项记载之表面检查装置,其中具有:由上述物侧远心光学系或上述像物侧远心光学系来之光被成像之摄影部,此摄影部于近轴领域与像平面一致地倾斜。9.一种使在量测对象物反射之光通过物侧远心光学系或像物侧远心光学系观测,以检查该量测对象物之表面状态之表面检查装置,其特征为:上述物侧远心光学系或像物侧远心光学系对于上述量测对象物之法线方向光轴可以倾斜规定之角度的被构成之。10.如申请专利范围第9项记载之表面检查装置,其中具有:由上述物侧远心光学系或上述像物侧远心光学系来之光被成像之摄影部,此摄影部于近轴领域与像平面一致地可以倾斜的被构成之。11.如申请专利范围第8项或第10项记载之表面检查装置,其中替代上述摄影部,具有毛玻璃。12.如申请专利范围第7项记载之表面检查装置,其中具有:由与上述光学系之光轴之延伸存在方向不同之方向对上述量测对象物照射光用之反光镜。13.如申请专利范围第12项记载之表面检查装置,其中使上述反光镜在2个以上,各别之反光镜由与其他之反光镜不同之方向,对于上述量测对象物照射光地被配置之。14.如申请专利范围第7项记载之表面检查装置,其中具有:使上述量测对象物对于此量测对象物之被检查面平行地旋转用之旋转装置。图式简单说明:第一图为本发明之第1实施例之表面检查装置之构成图,第二图系显示被形成于半导体晶圆上之假想之凹凸模样之图,第三图系显示被成像于摄影部之光像之图,第四图为本发明之第2实施例之表面检查装置之构成图。 |
