| 摘要 |
일 실시예에 따르는 구리 범프를 구비하는 인쇄회로기판의 제조 방법에 있어서, 절연 코어층 및 상기 절연 코어층 상에 배치되는 베이스 구리층을 포함하는 캐리어 기판을 제공한다. 상기 베이스 구리층의 상면에, 상기 베이스 구리층의 적어도 일부분을 노출시키는 컨택 패턴을 구비하는 제거가능한 희생패턴층을 형성한다. 상기 희생패턴층 상에 상기 컨택 패턴의 홀 크기 보다 넓은 폭의 홀 크기를 가지는 트렌치 패턴을 구비하는 레지스트 패턴층을 형성한다. 도금법에 의해 상기 컨택 패턴을 채우는 범프층 및 상기 트렌치 패턴을 채우는 제1 회로 패턴층을 포함하는 중간 구조물을 형성한다. 상기 중간 구조물로부터 상기 절연 코어층을 분리하여, 상기 베이스 구리층 상에 상기 범프층 및 상기 제1 회로 패턴층이 적층되는 적층 구조물을 형성한다. 상기 적층 구조물로부터 상기 베이스 구리층 및 상기 희생패턴층을 제거한다. |
