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发明名称 Semiconductor processing technique, including pyrometric measurement of radiantly heated bodies
摘要
申请公布号 EP0618430(B1) 申请公布日期 1999.08.04
申请号 EP19940302060 申请日期 1994.03.23
申请人 AT&T CORP. 发明人 FIORY, ANTHONY THOMAS
分类号 G01J5/10;G01J5/00;H05B3/62;(IPC1-7):G01J5/00;G05D23/27;H05B3/00 主分类号 G01J5/10
代理机构 代理人
主权项
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