质流控制装置之分流结构

摘要

一种质流控制装置之分流结构，其主要包含一外管、一内柱体及数个间隔元件，其中内柱体设置外管内，并以数个间隔元件将内柱体固定于外管内，以在外管、内柱体及数个间隔元件之间产生环状缝隙，该缝隙可供流体通过。该间隔元件之长度与外管及内柱体之长度相等，使该缝隙之截面积保持一致，而且外管、内柱体及间隔元件采用耐蚀材质，使该缝隙之边界条件均匀一致。因此，通过该环状缝隙之流体所受之边界条件均匀一致。本创作质流控制装置之分流结构之环状缝隙宽度可使通过流体维持层流，使支通道之流量与主通道之流量之比例维持一定值。

主权项

1.一种质流控制装置之分流结构,其包含:一外管,其设有一内孔,该内孔包含一内表面;一内柱体,其包含一外表面,其置于外管之内孔内;及数个间隔元件,其将该外管内孔内之内柱体予以固定;其中该外管之内表面、该内柱体之外表面及该数个间隔元件之间形成数个缝隙。2.一种质流控制装置之分流结构,其包含:一外管,其设有一内孔,该内孔包含一内表面;至少一内管,该内管套置于该外管之内孔内;一内柱体,其包含一外表面,其置于该内管内;及数个间隔元件,将该外管内孔内之该内管及内管内之内柱体分别予以固定;其中该外管之内表面、该内管之内、外表面,该内柱体之外表面及该数个间隔元件之间形成数个缝隙。3.依申请专利范围第1 或2 项之质流控制装置之分流结构,其中该内柱体之轴向设数个贯穿孔,该贯穿孔可使通过之流体维持层流。4.依申请专利范围第1 或2 项之质流控制装置之分流结构,其中该外管、内柱体及数个间隔元件系由耐蚀材料制成。5.依申请专利范围第4 项之质流控制装置之分流结构,其中该耐蚀材料为SUS316L不锈钢。6.依申请专利范围第1 或2 项之质流控制装置之分流结构,其中该间隙系可使通过流体维持层流。