Herstellungsverfahren von Kontakten mit niedrigem Widerstand an den Übergang zwischen Gebieten mit verschiedenen Leitungstypen,申请号DE1994619806-传众专利搜索

发明名称	Herstellungsverfahren von Kontakten mit niedrigem Widerstand an den Übergang zwischen Gebieten mit verschiedenen Leitungstypen
摘要
申请公布号	DE69419806(D1)	申请公布日期	1999.09.09
申请号	DE1994619806	申请日期	1994.04.26
申请人	STMICROELECTRONICS	发明人	HODGES, ROBERT LOUIS
分类号	H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L21/8244;H01L27/11;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/82	主分类号	H01L21/28
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