发明名称 尺寸量测设定装置及其方法
摘要 一种尺寸量测设定装置,包括:两端以转轴接头接合而成为两设置端部的连杆,在一设置端部设置有具有量测平面的平台,用以放置于工作平台上的受量测物上,且在另一设置端部设置有具有伸缩探针的量表,用以抵触于工作平台,以量测受量测物的尺寸。又利用上述尺寸量测设定装置的方法包括下列步骤:将既定尺寸的标准块规放置于工作平台上,而将尺寸量测设定装置的平台放置于标准块规上;将量表的伸缩探针接触于工作平台,此时量表所指示的刻度设定为基准点;将尺寸量测设定装置的平台放置于转盘,而量表的伸缩探针接触于刀缘环;以及调整刀缘环,而使量表指示到基准点。因此确定放置于转盘上的晶圆背面和刀缘环间之间隙即为标准块规之厚度。藉由本发明之设计,除了使间隙之量测与调整更具效率和准确外,同时也减少人为误差。
申请公布号 TW372346 申请公布日期 1999.10.21
申请号 TW087107498 申请日期 1998.05.14
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 陈勇达;薛荣浩;张旭昇
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 洪澄文
主权项 1.一种尺寸量测设定装置,适用于量测工作平台上的受量测物,该尺寸量测设定装置包括:一连杆,其两端分别弯曲而成为第一设置端部及第二设置端部,且在该等弯曲部分别设有一转轴接头;一平台,设置于该第一设置端部,且该平台具有一量测平面,用以放置于该工作平台上的该受量测物上;以及一量表,设置于该第二设置端部,且该量表具有一伸缩探针,与该量表连动,用以抵触于该工作平台,以量测该受量测物的尺寸。2.如申请专利范围第1项所述的尺寸量测设定装置,其中该受量测物为标准块规。3.一种尺寸量测设定方法,适用于藉由申请专利范围第1或2项所述的尺寸量测设定装置来量测设定一第一物件与一第二物件之间的高度差,该尺寸量测设定方法包括下列步骤:将既定尺寸的标准块规放置于该工作平台上,而将该尺寸量测设定装置的平台放置于该标准块规上;将该量表的伸缩探针接触于该工作平台,此时该量表所指示的刻度设定为基准点;将该尺寸量测设定装置的平台放置于该第一物件,而该量表的伸缩探针接触于该第二物件;以及调整该等物件,而使该量表指示到该基准点。4.如申请专利范围第3项所述的尺寸量测设定方法,其中该第一物件为转盘,而该第二物件为披覆装岂的刀缘环。图式简单说明:第一图是显影机器之结构图;第二图a是利用厚薄规量测间隙之简图;第二图b是第二图a中之部份放大图;第三图a是本发明尺寸量测设定装置之简图;第三图b是第三图a中转轴接头之侧面图;第三图c图是第三图a中量表之上视图;第四图是利用本发明尺寸量测设定装置量测间隙之简图;以及第五图是显影机器之斜视图和部份放大图。
地址 新竹科学工业园区研新一路九号