发明名称 VIBRATION PREVENTING DEVICE FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH11297249(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980093192 申请日期 1998.04.06
申请人 JEOL LTD 发明人 YAMADA ATSUSHI
分类号 H01J37/147;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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