发明名称 HIGH LUMINANCE PARTICLE GUN
摘要
申请公布号 JPH11297224(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980092989 申请日期 1998.04.06
申请人 NATL RES INST FOR METALS;APUKO:KK 发明人 EGASHIRA MITSURU;SHINTANI NORIO;SAITO SHUICHI
分类号 H01J27/20;H01J27/26;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/20 主分类号 H01J27/20
代理机构 代理人
主权项
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