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发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11297263(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980097233 申请日期 1998.04.09
申请人 JEOL LTD;NIPPON DENSHI SYSTEM TECHNOLOGY KK 发明人 INOGUCHI MASAYUKI
分类号 H01L21/66;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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