产生电浆之装置

摘要

揭露一种制备涂层基质的方法。基质以含有特殊原子比例之矽、氧、碳及氢的电浆生成聚合物来涂层，其中该聚合物也包含官能基。在电浆聚合化制程中，使用10^6至10^8焦耳/公斤的功率密度。

主权项

1.一种产生电浆之装置,其系利用平行电极板产生电浆,其包含作为阴极之一包含在一喷头内之平板状喷头电极,一供用于在该阴极表面上方产生一磁场的装置,一供用于注射气体反应物通过该阴极的内部并经由该阴极表面流出的装置,该注射装置实质上引导所有的反应物流经该磁场,且该产生磁场之装置包含有一位在该喷头内部且与该阴极的内侧上表面相接触的磁铁,藉此以防止在该喷头内侧之一电浆的产生,该磁铁具有一足够产生至少100高斯的强度。图式简单说明:第一图是在实施例中使用的电浆聚合化装置的图示。可以使用其他型式的电浆聚合化装置来实施本发明。第二图是显示在第一图的装置中所使用的阴极图示。其他阴极结构也能使用。第三图是显示在第二图的阴极的分解图。其他阴极结构也能使用。