| 主权项 |
1.一种压力式流量控制装置,系由孔口,和设在孔口的上游侧之控制阀,和设在控制阀与孔口间的压力检出器,及从压力检出器之检出压力P1将流体的流量当成Q=KP1(但是K为常数)来运算,并且将流量指令信号Qs与前述运算后的流量信号Q之差当作控制信号Qy向前述控制阀的驱动部输出之控制装置所构成,以将孔口的上游侧压力P1和下游侧压力P2之比P2/P1保持在控制流体的临界压力以下之状态下,藉由前述控制阀的开闭来调整孔口上游侧压力P1,以资控制孔口下游侧的流体之流量Q之形态的压力式流量控制装置,其特征为:前述孔口系采用直接接触型之金属膜片阀,其阀座与隔膜的环状之间隙系采用可变孔口。2.如申请专利范围第1项之压力式流量控制装置,其中,可变孔口系采用由脉冲马达型驱动部来调整环状间隙之可变孔口。3.如申请专利范围第1项之压力式流量控制装置,其中,可变孔口系采用由压电元件型驱动部来调节环状间隙之可变孔口。4.如申请专利范围第1项之压力式流量控制装置,其中,系将隔膜的动作行程L设定在0-0.12mm之范围。5.如申请专利范围第1项之压力式流量控制装置,其中,系将阀座和隔膜的环状间隙(流体通路)之面积设定成:与直径为0.14-0.25mm的圆孔之断面积相等者。6.如申请专利范围第2项之压力式流量控制装置,其中,脉冲马达型驱动部系采用:由步进马达和螺杆机构所构成者。图式简单说明:第一图,系在本发明使用之可变孔口(直接接触型金属膜片阀)的流量控制试验装置之构成图。第二图,系在本发明使用的可变孔口之直断面图。第三图,系显示由第一图的试验装置之压力-流量的测定値之一例者。第四图,系显示由第一图的试验装置之压力-流量的测定値之其他例者。第五图,系显示将可变孔口的上游侧压力P1和下游侧压力P2做为一定値时,隔膜之行程L(mm)和流量Q(sccm)的关系者。第六图,系显示将可变孔口的上游侧压力P1和下游侧压力P2做为一定値时,和由隔膜之行程(mm)与流量Q(sccm)算出的孔口口径(mm)之关系者。第七图,系关于本发明的压力式流量控制装置之构成图。第八图,系压力控制阀的直断面图。第九图,系显示关于本发明的实施例之可变孔口的主要部之直断面图。第十图,系第九图的部份扩大图。第十一图,系已往的压力式流量控制装置之构成图。 |
