| 主权项 |
1.一种半导体元件制造设备之警示系统,包含有:一逻辑加总装置,用于在收到针对至少一设备之状态的信号时处理逻辑加总;一驱动装置,用于在收到该逻辑加总结果时输出至少一驱动信号以驱动一灯具;及一灯塔,其包含具相对于至少一个输出驱动信号的一对一对应数目之灯具,且灯具之发光状态视各驱动信号和设备之一特定状态而有所不同。2.依据申请专利范围第1项之半导体元件制造设备之警示系统,其中该逻辑加总装置藉由逻辑地加总下列信号当中一个以上的信号而为至少一个逻辑加总的结果输出一信号:指出该设备之操作开始及操作持续的一开始信号输出;指出该设备己备妥供正常操作的一备妥信号输出;指出在该设备完成操作后可实施次一制程的一驱动信号输出;及指出在错误情形中操作应再次被实施的一待用信号输出。3.依据申请专利范围第1项之半导体元件制造设备之警示系统,其中,来自该逻辑加总装置的该等输出信号之数目,及该驱动装置之驱动零件之数目,系分别一对一对应地等于在该灯塔中的该等灯具之数目。4.依据申请专利范围第1项之半导体元件制造设备之警示系统,其中该逻辑加总装置将该输出结果与具至少一频率的一脉波信号加总,并将结果输出至该驱动装置使得该对应灯具做一遮没操作。图式简单说明:第一图系根据本发明之一实施例的半导体元件制造设备之警示系统的一方块图。 |
