| 发明名称 |
Verfahren zur Bestimmung des Abstandes P einer Kante eines Strukturelementes auf einem Substrat |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19825829(C2) |
申请公布日期 |
2000.07.27 |
| 申请号 |
DE19981025829 |
申请日期 |
1998.06.10 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH |
发明人 |
RINN, KLAUS |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/02;G01B11/03;G06T7/60;(IPC1-7):G01B11/03;G01B11/26;G01J1/42;G03F9/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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