| 摘要 |
<p>본 고안에 의한 반도체의 이온주입장치는 터미널내에 이온을 형성시킬 수 있는 소스헤드와, 이온을 추출할 수 있는 공간을 형성하는 방출조작기와, 양전압을 상기 소스헤드에 인가시키고 음전압을 상기 방출조작기에 인가시켜 전압차이에 의해 이온을 방출시키는 방출전원공급기를 포함하여 구성된 반도체의 이온주입장치에 있어서, 상기 방출전원공급기에서 소스헤드로 전압이 인가되는 파워라인의 일측에 소스헤드 방전시 접지되도록 한 절연접지부를 설치하여 이온주입시 소스헤드에서 발생되는 방전문제를 접지회로를 통해 방전시킴으로써 시스템 다운 현상을 방지하여 가동률을 향상시키고, 생산성을 향상시키도록 하였다.</p> |
