| 主权项 |
1.一种研磨装置,系将被研磨基板之被研磨面按压于磨料表面,并使两者作相对运动以研磨被研磨面之研磨装置,其特征为具有可将上述被研磨面于研磨之际所产生的研磨生成物予以排出之研磨生成物排出机构。2.一种研磨生成物之排出机构,系于申请专利范围第1项之研磨装置,其中,上述研磨生成物排出机构,系具备可将研磨盘表面上之研磨生成物予以捕捉的研磨生成物捕捉机构,及将藉该研磨生成物捕捉机构捕捉之研磨生成物向外排出之研磨生成物排出机构而构成为其特征。3.一种研磨生成物之排出机构,系于申请专利范围第1项之研磨装置中,上述研磨生成物排出机构,系具备于磨料表面喷洒液体或气体以将沉积于该磨料表面的研磨生成物予以去除之流体喷洒机构而构成为其特征。4.一种研磨生成物之排出机构,系于申请专利范围第1项之研磨装置中,上述研磨生成物排出机构,系具备可将磨料的表面加以修整之修整机构,及将由该修整机构所取出于磨料表面之研磨生成物向外排出的研磨生成物排出机构而构成为其特征。5.一种研磨生成物之排出机构,系于申请专利范围第1项之研磨装置中,上述研磨生成物排出机构,系于磨料的表面设置由研磨生成物排出用之沟槽所构成的研磨生成物排出机构而构成为其特征。6.一种研磨生成物之排出机构,系于申请专利范围第5项之研磨装置中,上述研磨生成物排出机构,系除上述研磨生成物排出用的沟槽之外,具备可沿该沟槽喷射液体或气体以将该沟槽内之研磨生成物向外排出的液体喷射机构而构成。7.一种研磨生成物之排出机构,系于申请专利范围第6项之研磨装置中,上述磨料的表面所设置之研磨生成物排出用沟槽,系于其两端设有堤堰而构成为其特征。8.一种研磨生成物之排出机构,系于申请专利范围第5项之研磨装置中,上述磨料的表面所设置之研磨生成物排出用沟槽,系将其相互之间隔设定为等于或小于偏心圆直径而构成为其特征。图式简单说明:第一图A是适用本发明之第一实施形态而成的研磨装置之主要部份的概略侧视图,第一图B及第一图C各是显示磨料与捕捉器等配置关系的主要部份之概略平面及主要部份之概略斜视图。第二图是显示其一变化例之图。第三图是显示其另一变化例之图。第四图A、第四图B是显示又另一变化例之图。第五图是显示本发明之第二实施形态的图;第五图A是主要部份之概略侧视图,第五图B是主要部份之概略平面图,第五图C是其变化例的主要部份之概略平面图。第六图是显示本发明之第三实施形态的图;第六图A是主要部份之概略侧视图,第六图B是主要部份之概略平面图,第六图C是其变化例的主要部份之概略平面图。第七图是显示本发明之第四实施形态所用之磨料70的图;第七图A是平面图,第七图B是侧视剖面图(第七图A之B-B剖面图)。第八图A、第八图B、第八图C各是显示其变化例之图。第九图是显示该变化例所用之磨料80的图;第九图A是平面图,第九图B是沟槽81部份的放大显示动作说明图,第九图C是第九图B的同一部份于直交方向剖开的动作说明图。第十图是显示另一变化例所使用的磨料90的图;第十图A是平面图,第十图B是将沟槽91部份放大显示之动作说明图,第十图C是第十图B的同一部份于直交方向剖开之动作说明图。第十一图是显示偏心型研磨装置的主要部份之纵剖面图。第十二图是显示偏心运动之图;第十二图A是平面图,第十二图B是显示沿AA线之剖面图。第十三图是显示本发明的第五实施形态之沟槽部之构造的图;第十三图A及第十三图B是剖面图,第十三图C是平面图。第十四图是显示斜坡型堤堰的图;第十四图A是斜坡型堤堰的剖面图,第十四图B是其平面图,第十四图C显示于中央部位设置有排出物用之流路的斜坡型堤堰之构造的平面图。第十五图是其变化例的设有自动升降堤堰之图;第十五图A是显示该堤堰在使用时之剖面图,第十五图B是显示该堤堰不使用时之剖面图。 |
